फोटोरेसिस्टचा आढावा
फोटोरेसिस्ट, ज्याला फोटोरेसिस्ट असेही म्हणतात, एक पातळ फिल्म मटेरियल आहे ज्याची विद्राव्यता अतिनील प्रकाश, इलेक्ट्रॉन बीम, आयन बीम, एक्स-रे किंवा इतर रेडिएशनच्या संपर्कात आल्यावर बदलते.
हे रेझिन, फोटोइनिशिएटर, सॉल्व्हेंट, मोनोमर आणि इतर अॅडिटिव्ह्जपासून बनलेले आहे (तक्ता १ पहा). फोटोरेझिस्ट रेझिन आणि फोटोइनिशिएटर हे फोटोरेझिस्टच्या कामगिरीवर परिणाम करणारे सर्वात महत्वाचे घटक आहेत. फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेदरम्यान ते अँटी-कॉरोझन कोटिंग म्हणून वापरले जाते.
अर्धवाहक पृष्ठभागांवर प्रक्रिया करताना, योग्यरित्या निवडक फोटोरेझिस्ट वापरल्याने पृष्ठभागावर इच्छित प्रतिमा तयार करता येते.
तक्ता १.
| फोटोरेसिस्ट साहित्य | कामगिरी |
| सॉल्व्हेंट | ते फोटोरेसिस्टला द्रव आणि अस्थिर बनवते आणि फोटोरेसिस्टच्या रासायनिक गुणधर्मांवर जवळजवळ कोणताही परिणाम करत नाही. |
| फोटोइनिशिएटर | याला फोटोसेन्सिटायझर किंवा फोटोक्युरिंग एजंट असेही म्हणतात, हे फोटोरेझिस्ट मटेरियलमधील फोटोसेन्सिटिव्ह घटक आहे. हे एक प्रकारचे संयुग आहे जे मुक्त रॅडिकल्स किंवा कॅशन्समध्ये विघटित होऊ शकते आणि विशिष्ट तरंगलांबीची अल्ट्राव्हायोलेट किंवा दृश्यमान प्रकाश ऊर्जा शोषून घेतल्यानंतर मोनोमर्समध्ये रासायनिक क्रॉस-लिंकिंग प्रतिक्रिया सुरू करू शकते. |
| राळ | हे निष्क्रिय पॉलिमर आहे आणि फोटोरेझिस्टमधील वेगवेगळ्या पदार्थांना एकत्र ठेवण्यासाठी बाईंडर म्हणून काम करते, ज्यामुळे फोटोरेझिस्टला त्याचे यांत्रिक आणि रासायनिक गुणधर्म मिळतात. |
| मोनोमर | याला सक्रिय डायल्युएंट्स असेही म्हणतात, हे लहान रेणू आहेत ज्यात पॉलिमराइज करण्यायोग्य कार्यात्मक गट असतात आणि कमी आण्विक वजनाचे संयुगे आहेत जे उच्च आण्विक वजनाचे रेजिन तयार करण्यासाठी पॉलिमराइजेशन अभिक्रियांमध्ये भाग घेऊ शकतात. |
| अॅडिटिव्ह | हे फोटोरेझिस्टच्या विशिष्ट रासायनिक गुणधर्मांवर नियंत्रण ठेवण्यासाठी वापरले जाते. |
फोटोरेझिस्ट तयार होणाऱ्या प्रतिमेच्या आधारे दोन मुख्य श्रेणींमध्ये वर्गीकृत केले जातात: सकारात्मक आणि नकारात्मक. फोटोरेझिस्ट प्रक्रियेदरम्यान, एक्सपोजर आणि विकासानंतर, कोटिंगचे उघड भाग विरघळतात, ज्यामुळे उघड न झालेले भाग राहतात. या कोटिंगला पॉझिटिव्ह फोटोरेझिस्ट मानले जाते. जर उघड न झालेले भाग विरघळत असताना उघड भाग राहिले तर कोटिंगला नकारात्मक फोटोरेझिस्ट मानले जाते. एक्सपोजर प्रकाश स्रोत आणि रेडिएशन स्रोतावर अवलंबून, फोटोरेझिस्टना पुढे यूव्ही (पॉझिटिव्ह आणि निगेटिव्ह यूव्ही फोटोरेझिस्टसह), डीप यूव्ही (डीयूव्ही) फोटोरेझिस्ट, एक्स-रे फोटोरेझिस्ट, इलेक्ट्रॉन बीम फोटोरेझिस्ट आणि आयन बीम फोटोरेझिस्ट असे वर्गीकृत केले जाते.
फोटोरेसिस्टचा वापर प्रामुख्याने डिस्प्ले पॅनल्स, इंटिग्रेटेड सर्किट्स आणि डिस्क्रिट सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये बारीक नमुन्यांच्या प्रक्रियेत केला जातो. फोटोरेसिस्टमागील उत्पादन तंत्रज्ञान गुंतागुंतीचे आहे, ज्यामध्ये विविध प्रकारचे उत्पादन प्रकार आणि वैशिष्ट्ये आहेत. इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगाचे इंटिग्रेटेड सर्किट उत्पादन वापरल्या जाणाऱ्या फोटोरेसिस्टवर कठोर आवश्यकता लादते.
फोटोक्युरेबल रेझिन्सच्या उत्पादन आणि विकासात २० वर्षांचा अनुभव असलेले एव्हर रे, वार्षिक २०,००० टन उत्पादन क्षमता, एक व्यापक उत्पादन श्रेणी आणि उत्पादने कस्टमाइझ करण्याची क्षमता यांचा अभिमान बाळगते. फोटोरेझिस्टमध्ये, एव्हर रेमध्ये १७५०१ रेझिन मुख्य घटक म्हणून आहे.
